MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長(zhǎng)各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

MOCVD的優(yōu)點(diǎn)有哪些：

1 適用范圍廣泛，幾乎可以生長(zhǎng)所有化合物及合金半導(dǎo)體;

2 非常適合于生長(zhǎng)各種異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料;

3 可以生長(zhǎng)超薄外延層，并能獲得很陡的界面過(guò)渡;

4 生長(zhǎng)易于控制;

5 可以生長(zhǎng)純度很高的材料;

6 外延層大面積均勻性良好;

7 可以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。

中國(guó)MOCVD系統(tǒng)發(fā)展

2012年12月12號(hào)，中國(guó)首臺(tái)具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備發(fā)運(yùn)慶典在張江高新區(qū)核心園舉行。

作為L(zhǎng)ED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最為關(guān)鍵的設(shè)備，MOCVD的核心技術(shù)長(zhǎng)期被歐美企業(yè)所壟斷，嚴(yán)重制約了中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。中晟光電設(shè)備上海有限公司于2012年1月18日成功實(shí)現(xiàn)了擁有自主創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)的具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備下線，僅用了10個(gè)月時(shí)間，又完成了工藝的開(kāi)發(fā)和設(shè)備進(jìn)一步的改進(jìn)優(yōu)化，完成了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)必備條件與設(shè)施的建立；在此基礎(chǔ)上又完成了4家客戶的多次實(shí)地考察，親臨操作設(shè)備和驗(yàn)證各項(xiàng)工藝。

客戶充分肯定了中晟設(shè)備的技術(shù)方向和設(shè)計(jì)上的世界先進(jìn)性，也對(duì)設(shè)備用于大規(guī)模生產(chǎn)提出了進(jìn)一步改進(jìn)的建設(shè)性要求。使該設(shè)備同時(shí)具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能、最低的外延生產(chǎn)成本、良好的波長(zhǎng)均勻性、大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能等4項(xiàng)核心的差異競(jìng)爭(zhēng)力。這次我國(guó)首臺(tái)具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備成功發(fā)運(yùn)，不僅標(biāo)志著在實(shí)現(xiàn)中國(guó)大型MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略目標(biāo)的征途上，中晟邁開(kāi)了具有里程碑意義的一步，而且充分體現(xiàn)了中國(guó)有能力在高端裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式的發(fā)展。

國(guó)外MOCVD系統(tǒng)發(fā)展

隨著化合物半導(dǎo)體器件(如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN藍(lán)光LED)市場(chǎng)的不斷擴(kuò)大，MOCVD系統(tǒng)的需求量不斷增長(zhǎng)。國(guó)際上實(shí)力最為雄厚的MOCVD系統(tǒng)制造商有:德國(guó)Aixtron公司、美國(guó)的Emcore公司（其MOCVD已被Veeco兼并）、英國(guó)的Thomass~(1999年被Aixtron兼并)等。因?yàn)镸OCVD系統(tǒng)最關(guān)鍵的問(wèn)題就是保證材料生長(zhǎng)的均勻性和重復(fù)性，因此不同廠家的MOCVD系統(tǒng)最主要的區(qū)別在于反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。Aixtron采用行星反應(yīng)(Planetary Reactor)，Emcore采用TurboDisc反應(yīng)室(該業(yè)務(wù)己出售給Veeco公司)、Thomas Swan(該公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反應(yīng)室。

國(guó)內(nèi)擁有的進(jìn)口MOCVD系統(tǒng)700臺(tái)左右，其中 Aixtron MOCVD系統(tǒng)和Emcore MOCVD系統(tǒng)占絕大多數(shù)，有少量的 Thomas Swan MOCVD系統(tǒng)、法國(guó)ASM MOCVD系統(tǒng)和日本RIPPON SANSO MOCVD系統(tǒng)，主要用于GaN LD/LED的研究和制造。